澤攸 電鏡集成了掃描電鏡與能譜分析功能，形成一套完整的微觀分析系統，能同時提供樣品的形貌信息與成分信息。電子光學系統采用雙聚光鏡設計，可靈活調節電子束斑大小，滿足不同分辨率與束流的需求。鏡筒外壁包裹多層隔熱材料，減少環境溫度變化對電子光學系統的影響。澤攸電鏡集成化分析的電鏡系統
加速電壓 5kV-30kV，二次電子像分辨率 3nm（30kV），背散射電子像分辨率 4nm（30kV）。配備的能量色散 X 射線譜儀（EDS），探測器面積 10mm2，能量分辨率 129eV，可檢測元素范圍從 B 到 U，元素定量分析誤差小于 5%。
樣品臺為五軸聯動設計，移動范圍 X/Y 50mm×50mm，Z 軸 20mm，傾斜角度 - 10° 至 60°，旋轉 360°，支持樣品的多角度成分分析。設備采用模塊化設計，EDS 探測器可根據需求拆卸，便于后期升級或維護。機身采用鋁合金框架與鑄鐵底座組合結構，既保證了整體剛性，又減輕了設備重量。
操作軟件支持形貌成像與成分分析的聯動控制，可在觀察形貌的同時進行點分析、線掃描或面掃描，實時獲取元素分布圖譜。軟件內置標樣數據庫，包含多種標準樣品的成分數據，可自動校準分析結果，提高定量分析的準確性。
使用時，需先對 EDS 系統進行能量校準與效率校準，確保成分分析的可靠性。在金屬材料分析中，EM3000 可用于識別夾雜物的成分，判斷其來源；在陶瓷材料研究中，能分析晶粒與晶界的成分差異，探究燒結機理；在考古領域，可通過分析文物表面涂層的成分，推斷其制作工藝。這套集成化系統為用戶提供了從形貌觀察到成分分析的一站式解決方案，減少了樣品轉移過程中的誤差，提高了分析效率。澤攸電鏡集成化分析的電鏡系統
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