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產品中心臺式電鏡&臺階儀&原位分析澤攸臺式掃描電鏡納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介紹
產品簡介
納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介紹澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術相結合，可提供多維度的樣品信息。
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產品細節與性能：
JS系列采用壓電陶瓷驅動和柔性鉸鏈結構，實現了探針的平穩掃描。測量力可調，以適應不同硬度樣品的測量需求，避免對樣品造成損傷。
核心參數（JS 400例）：
掃描范圍：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)
垂直分辨率：0.1nm
掃描速度：0.01 - 1mm/s
樣品尺寸：直徑≤ 6英寸
用途：
主要用于半導體制造中的膜厚測量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。
使用簡述：
選擇并安裝合適的探針，將樣品固定在樣品臺上。通過軟件設定掃描路徑和參數，系統即可自動完成測量并生成三維輪廓圖。納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介