產品概述

Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量  Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術，適用于微米至納米級表面形貌分析，滿足半導體、光學元件、精密制造等領域的高精度檢測需求。Zygo白光干涉光學輪廓儀：微納表面精密測量 Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量

核心性能

• •測量范圍：垂直分辨率0.1nm，橫向分辨率1μm

• •多模式測量：支持白光干涉、相移干涉等多種測量模式

• •快速掃描：高速數據采集，提高檢測效率

• •大視場兼容：適配2.5X-100X物鏡，支持不同尺寸樣品測量

用材與結構

• •光學系統：高穩定性干涉光路設計

  •精密載物臺：電動控制，定位精度高

• •分析軟件：提供3D形貌重建、粗糙度分析等功能模塊

參數表

Zygo白光干涉光學輪廓儀主要用途

• •半導體晶圓表面缺陷檢測

  •光學鏡片面形測量

• •MEMS器件三維形貌分析

• •材料表面粗糙度表征

使用說明

1.樣品準備：確保表面清潔，避免強反射干擾

2.模式選擇：根據樣品特性選擇合適測量模式

3.參數設置：調整掃描范圍和分辨率

4.數據分析：通過軟件進行3D重建和參數計算

Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量