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    Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案

    產品簡介

    Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案
    Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。

    產品型號:
    更新時間:2025-08-25
    廠商性質:代理商
    訪問量:89
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    產品概述

    Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案  Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。

    性能特點

    • 多模式測量:支持白光干涉和相移干涉模式

    • 寬范圍測量:垂直測量范圍可達10mm

    • 快速掃描:單次測量時間可控制在秒級

    • 高重復性:測量結果穩定可靠

    用材與工藝

    • 光學系統:高精度干涉物鏡組

    • 機械平臺:花崗巖基座配合空氣隔振

    • 探測系統:高分辨率CCD傳感器

    • 控制系統:模塊化電子系統

    參數表

    型號NewView 9000NewView 7000
    垂直分辨率0.1nm0.5nm
    水平視場0.1-10mm0.2-8mm
    測量速度5秒/次10秒/次
    最大樣品高度150mm100mm
    物鏡選項2.5X-100X5X-50X

    典型用途

    • 晶圓表面缺陷檢測

    • 光學鏡面面形測量

    • MEMS器件三維形貌分析

    • 材料表面粗糙度評估

    使用說明

    1. 樣品準備:確保待測表面清潔無污染

    2. 參數設置:選擇合適的光學模式和放大倍率

    3. 自動對焦:使用軟件輔助對焦功能

    4. 開始測量:啟動自動掃描程序

    5. 數據分析:通過配套軟件處理測量結果

    維護建議

    • 定期清潔光學元件

    • 保持實驗室環境穩定

    • 避免設備受到振動影響

    • 定期進行設備校準

    結語:
    Zygo光學輪廓儀以可靠的測量性能,為工業檢測和科研工作提供支持。如需了解更多信息,歡迎咨詢專業技術團隊。Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案


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