產品概述

澤攸ZP3-4微納探針臺精密電學測量平臺澤攸ZP3-4微納探針臺是一款適用于微納器件電學性能測試的精密儀器，主要服務于半導體器件、納米材料和微電子機械系統（MEMS）等領域的研究與測試需求。該系統采用模塊化設計理念，可滿足不同規格樣品的測試要求。澤攸ZP3-4微納探針臺精密電學測量平臺

核心功能特點

精密定位系統

• 采用高精度步進電機驅動

• 三維移動分辨率可達0.1微米級

• 支持手動與電動兩種操控模式

• 具備位置記憶與自動復位功能

探針配置方案

• 標準配置支持4個獨立探針臂

• 探針角度可多向調節

• 兼容多種規格的商用探針

• 可選配高溫或低溫探針組件

樣品適配性能

• 最大支持6英寸晶圓測試

• 樣品臺溫度控制范圍：室溫至300℃（選配）

• 可選配真空或惰性氣體環境腔體

• 支持倒裝芯片等多種封裝形式

典型應用場景

1. 半導體器件I-V特性測試

2. 納米材料電學性能表征

3. MEMS器件參數測量

4. 微納傳感器性能評估

5. 新型電子器件研發測試

操作注意事項

• 建議在防震實驗臺上使用

• 定期校準定位系統精度

• 探針接觸壓力需適當控制

• 高溫測試時注意操作安全

• 建議配合靜電防護措施使用

技術支持服務

澤攸科技提供以下專業支持：

• 設備安裝與操作培訓

• 測試方案開發咨詢

• 定期維護保養服務

• 備品備件供應保障

• 軟件功能升級支持

產品價值體現

ZP3-4微納探針臺通過其精密的定位系統和靈活的配置方案，為微納器件的電學測試提供了可靠的實驗平臺。該系統適用于需要精確電學測量的研發和質量控制場景。澤攸ZP3-4微納探針臺精密電學測量平臺