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產品中心臺式電鏡&臺階儀&原位分析澤攸SEM原位解決方案SEM冷凍真空傳輸系統
產品簡介
SEM冷凍真空傳輸系統高匹配360°(無限)旋轉冷臺，冷臺傾轉角度>55°，冷臺溫度≤180℃。
產品分類
相關文章
SEM冷凍真空傳輸系統示意圖
SEM冷凍真空傳輸系統參數
•獨立控制系統
•獨立真空系統
•高匹配360°(無限)旋轉冷臺
•冷臺傾轉角度>55°
•冷臺溫度≤180℃
•冷臺降低溫時間:≤30min
•冷阱溫度≤l90℃
•冷阱降低溫時間:≤l5min
•冷臺、冷阱設計烘烤功能
•烘烤溫度:80℃
•提供定制化樣品梭服務
360°旋轉冷臺
功能：用于裝載樣品梭及提供低溫保護
參數
•旋轉角度：0-360°
•控溫范圍：-180℃~80℃
•控溫精度：≤土0.1℃
•降溫速度：≤30min
冷阱
功能：低溫保護、吸附污染物
參數
•控溫范圍：≤-190℃
•控溫精度：≤士0.5℃
•降溫速度:≤15min
真空轉移腔
功能：用于樣品的真空轉移
參數
•可實現手套箱-FIB真空相互轉移
•可實現液氮內樣品-FIB冷凍制樣真空轉移
真空過度倉
功能：實現樣品到電鏡的真空過度轉移
參數
•操作快速
•便捷獨立真空系統
•匹配電鏡真空
低溫系統
功能：用于為冷臺、冷阱提供冷源
參數
•液氮容積35L
•持續工作時間>8h
•設計不停機添加液氮端囗
控制系統
功能：用于系統的控制、集成和交互
參數
•溫度顯示及控制
•真空系統集成與控制
•選配液氮工作站，可滿足樣品的冷進冷出需求