ZYGO/翟科白光干涉光學輪廓儀是一種高分辨率的非接觸式表面形貌測量設備，適用于微納米級別的表面形貌分析。該設備基于白光干涉原理，能夠精確測量表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等參數，廣泛應用于半導體、光學元件、精密制造等領域。Zygo白光干涉儀：微納表面精密測量工具 ZYGO/翟科

產品細節與性能

Zygo激光干涉儀采用穩定的白光光源和高精度干涉物鏡，確保測量數據的可靠性。其垂直分辨率可達0.1nm，橫向分辨率1μm，測量范圍覆蓋0.1nm至1mm，適用于不同粗糙度的樣品分析。設備配備高靈敏度CCD傳感器，能夠快速捕捉干涉條紋，并生成高精度的3D表面形貌圖。ZYGO/翟科激光干涉儀

主要型號與參數

ZYGO提供多個型號以滿足不同需求，例如：

• •NewView 9000系列：適用于高精度科研與工業檢測，支持大視場掃描（最大20mm×20mm）。

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• •NewView 7000系列：經濟型方案，適合常規實驗室和產線檢測，掃描速度可達50μm/s。

用途與適用行業

• •半導體行業：用于晶圓表面缺陷檢測、薄膜厚度測量。

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• •光學制造：分析透鏡、反射鏡等光學元件的表面質量。

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• •精密加工：測量機械零件的表面粗糙度與形貌特征。

使用說明

ZYGO/翟科激光干涉儀 設備操作界面友好，支持自動對焦和批量掃描功能。用戶可通過配套軟件進行數據分析，并導出符合ISO標準的檢測報告。建議定期校準光學系統，并保持測量環境穩定，以減少外界振動和溫度波動的影響。Zygo白光干涉儀：微納表面精密測量工具 ZYGO/翟科