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    ZYGO白光干涉儀:高精度光學輪廓測量

    產品簡介

    ZYGO白光干涉儀:高精度光學輪廓測量
    ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業提供可靠的表面測量方案,支持快速、非接觸式檢測,提升質量控制效率。

    產品型號:
    更新時間:2025-08-25
    廠商性質:代理商
    訪問量:103
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    ZYGO白光干涉儀:高精度光學輪廓測量 ZYGO白光干涉儀ZYGO白光干涉儀采用閉環反饋壓電陶瓷和高線性電容傳感器,確保測量的穩定性和重復性。設備支持多種物鏡選擇,適用于不同放大倍率和工作距離的需求。設備操作簡便,支持多種軟件分析工具,便于用戶快速完成測量和分析 ZYGO白光干涉儀:高精度光學輪廓測量

    產品性能

    • 測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)

    • 橫向分辨率:最高可達0.5μm

    • 重復性:優于0.1%

    • 支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

    用材與結構

    儀器主體采用高穩定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數玻璃,確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計,減少環境振動干擾。

    參數表

    型號

    垂直分辨率

    最大掃描范圍

    適用樣品

    ZYGO-200

    0.1nm

    1mm

    光滑表面、薄膜

    ZYGO-500

    0.2nm

    10mm

    粗糙表面、微結構

    用途

    • 半導體晶圓檢測

    • 光學鏡面質量分析

      MEMS器件形貌測量

    • 精密機械加工表面評估

    ZYGO白光干涉儀:高精度光學輪廓測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀







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