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    ZYGO白光干涉儀:高精度非接觸式測量

    產品簡介

    ZYGO白光干涉儀:高精度非接觸式測量
    ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業提供可靠的表面測量方案,支持快速、非接觸式檢測,提升質量控制效率。

    產品型號:
    更新時間:2025-08-25
    廠商性質:代理商
    訪問量:86
    詳細介紹在線留言

    ZYGO白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于多種材料表面的三維形貌測量。其非接觸式測量方式避免了對樣品的物理損傷,適用于多種材料和復雜表面的測量。設備具備高精度和高分辨率,支持多種測量模式,適用于不同表面特性樣品的測量ZYGO白光干涉儀:高精度非接觸式測量

    產品性能

    • 測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)


    • 橫向分辨率:最高可達0.5μm


    • 重復性:優于0.1%


    • 支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

    用材與結構

    儀器主體采用高穩定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數玻璃,確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計,減少環境振動干擾。

    參數表

    型號

    垂直分辨率

    最大掃描范圍

    適用樣品

    ZYGO-200

    0.1nm

    1mm

    光滑表面、薄膜

    ZYGO-500

    0.2nm

    10mm

    粗糙表面、微結構

    用途

    • 半導體晶圓檢測


    • 光學鏡面質量分析


    • MEMS器件形貌測量


    • 精密機械加工表面評估

    使用說明

    1.機預熱10分鐘,確保系統穩定。

    2.放置樣品于載物臺,調整焦距至干涉條紋清晰。

    3.選擇測量模式,設定掃描參數。

    4.軟件自動分析數據,生成3D形貌圖及關鍵參數。

    ZYGO白光干涉儀:高精度非接觸式測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀



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