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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀BEUKER光學輪廓儀：高效測量微納結構
產品簡介
BEUKER光學輪廓儀：高效測量微納結構BEUKER三維測量白光干涉光學輪廓儀為微納尺度表面檢測提供高效解決方案。其模塊化設計支持靈活配置，滿足多樣化測量需求
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布魯克白光干涉光學輪廓儀產品特點
快速掃描：單次測量時間小于3秒，適合批量檢測。
多模式分析：支持白光干涉和共聚焦模式切換，適應不同反射率樣品。
布魯克三維測量白光干涉光學輪廓儀關鍵參數
垂直分辨率：0.1nm
最大視場：5mm×5mm
重復性誤差：<1%
布魯克三維測量白光干涉光學輪廓儀型號推薦
BKI-250：經濟實用型，適合教學與小規模檢測。
BKI-350：工業級配置，抗振動干擾能力強。
布魯克三維測量白光干涉光學輪廓儀應用領域
半導體晶圓缺陷檢測
MEMS器件形貌分析
光學鍍膜均勻性評估
操作指南
清潔樣品表面以避免雜散光干擾。
根據樣品特性選擇干涉或共聚焦模式。
使用校準片定期進行設備校驗。
布魯克白光干涉光學輪廓儀：高效測量微納結構