產品簡介
HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺系列是可從外部移動 探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、 探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個 可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結 霜，或高溫下氧化。
功能特點
mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
可編程控溫，涵蓋-190℃~400℃
適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針,
模塊化設計，可自由組合
*可升級為 8 個獨立探針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK
SMA 接頭轉 BNC 四探針，手動點針
*可選三同軸接口，用于 pA 級測試
*可做定制或改動，詳詢上海恒商
溫控參數
溫度范圍 -190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）
加熱塊材質 銀
傳感器/溫控方式 最大升溫速率
100Ω鉑 RTD / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）
30℃/min
最小溫控速度 ±0.01℃/min
溫度分辨率 0.01℃ RTD 傳感器
溫度穩定性 ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
軟件功能 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線
光學參數
適用光路 反射光路
窗片 可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD
上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±50° *截面圖中θ 1
負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路
結構參數
適用樣品 26 mm 直徑 （標準）
樣品腔高 4/8 mm （可選）
探針座 可從外部 XYZ 移動的探針臂 粗調模式+微調模式，XY 粗調 20mm XY 微調行程 10mm,Z 微調 3mm
調節精度 10um
氣氛控制 真空腔，也可充入保護氣體
外殼冷卻 可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg
配置列表
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、 防震桌、真空系統、測試源表、三同軸 BNC、臺面電懸空、 樣品接電引線
以上是HCP421V-MPS 溫控探針臺 真空腔 冷熱臺的詳細介紹
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