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ZYGO 3D光學輪廓儀 ZeGage Pro 可直接用于生產的三維光學輪廓儀系統。 ZeGage™ Pro和 ZeGage™ Pro HR 三維光學輪廓儀可對多種類型表面的微米和納米級特征進行非接觸式測量和表征，實現制造環境中的質量控制和過程監控。

ZYGO 光學輪廓儀 NewView 9000 提供了強大、多功能的非接觸式光學表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。

ZYGO光學輪廓儀 Nexview NX2 是為更高應用需求設計的，集超精密、先進算法、應用靈活性和自動化為一體，優異展現了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術的能力。 采用的是非接觸式測量技術，具有亞納米測量精度（所有放大倍數下），可以更快更好地測量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報率的產品

經濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx 是一款專為工業和研究所設計的全新非接觸式3D光學輪廓儀。它設計簡潔、用途多樣。Slynx能夠測量不同的材質，結構，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于一體，確保了其的性能。配合SensoSCAN軟件系統，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗。

大視野3D光學輪廓儀S wide軟件通過清晰、直觀且用戶友好的界面驅動系統。用戶將被引導瀏覽3D環境，獲得的用戶體驗。自動化程序模塊自動測量模塊讓客戶更容易地實現自定義編程，完成質量管理和檢測的目標。手動設定測量點坐標或導入坐標文件，為每個坐標或批量設定量測程序，再設定自動影像識別對位點，最后定義公差范圍及報告輸出格式就完成了所有的編程工作。

Sensofar多功能3D光學輪廓儀Slynx2，是一款多功能、多用途的3D光學輪廓儀，用于粗糙度、體積和臨界尺寸測量。光學輪廓儀S lynx2，是將高清晰度共聚焦顯微鏡、納米級白光干涉儀和多焦面疊加三維顯示技術融合在一臺儀器中。因此具有這三種產品的*性：即具備高橫向分辨率的共聚焦影像效果、也具備白光干涉儀的納米級的垂直分辨率、具備多焦面疊加高達86度的傾斜角度觀察能力。