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Sensofar平面度測量白光干涉儀搭配0.65X物鏡，具有很大視野的物鏡和較高精度的載物臺，在平面度、平行度和臺階高度測量方面提供了較佳的表現。S neox 持續成為多功能性的先驅;這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物臺，在平面度、平行度和臺階高度量測方面提供了最佳表現。

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀結合了高精度旋轉模塊和S neox 3D光學輪廓儀的檢測和分析功能在位置上實現全自動地3D表面測量，并結合在一起，完成全表面的3D立體測量。

全新設計的Sensofar共聚焦白光干涉儀 S neox區別于傳統白光干涉儀，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術融于一身，測量頭內無運動部件。能夠測量不同的材質，結構，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的三維形貌,測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體，確保了其優異的性能。配合SensoSCAN軟件系統，用戶將獲得出色的直觀操作體驗。

布魯克三維光學輪廓儀保障長期穩定運行 為延長設備使用壽命，布魯克提供全生命周期服務方案，涵蓋日常清潔、定期校準與軟件更新。

布魯克三維光學輪廓儀從設備啟動到數據分析 ContourX-500的操作流程兼顧效率與準確性，通過標準化步驟與智能化輔助功能，降低用戶學習成本。

布魯克三維光學輪廓儀半導體行業的應用 半導體制造對形貌控制的嚴苛要求，使ContourX-500成為晶圓廠與封裝測試企業的關鍵設備。其非接觸式測量與納米級分辨率，可覆蓋前道制程與后道封裝的多樣化需求。