S neox 采用臺式一體化設計，尺寸約 600mm×500mm×750mm，重量控制在 70kg 以內，普通操作臺即可放置，節省空間。機身外殼選用高強度鋁合金，經陽極氧化處理，兼具抗腐蝕與防光反射能力，減少環境對光學系統的干擾。核心光學系統密封在防塵防霧艙內，避免灰塵水汽影響成像質量，鏡頭接口標準化，兼容六種常用物鏡，更換無需復雜校準。
樣品臺為設備關鍵結構之一，采用精密滾珠導軌，表面覆蓋耐磨涂層，移動順滑且長期保持精度。其 X、Y 軸移動范圍均為 100mm，Z 軸 50mm，搭配高精度光柵尺，移動精度達 0.1μm，可承載從 5mm 微型鏡片到 80mm 半導體晶圓的多樣樣品。以下為核心參數表：
軟件方面，SensoSCAN 內置 ISO 4287、ISO 12781-2 等標準算法，確保數據通用性。支持 PDF、Excel 等多種格式導出，方便存檔分享。
S neox 通過豐富的輔助設備與軟件適配，滿足不同樣品與場景需求。輔助夾具涵蓋多類專用型號：真空吸附夾具通過 - 0.1MPa 至 0MPa 可調負壓，平整固定薄膜、紡織品等柔性樣品，避免褶皺影響檢測；顯微定位夾具借助精密旋鈕與光學對準裝置，實現 5μm 精度定位，適配 MEMS 器件、微型齒輪等微小樣品。
針對特殊樣品，無菌夾具支持紫外線消毒，適配人工皮膚等生物樣品檢測；旋轉式夾具轉速 0-10r/min，可檢測圓柱類工件表面形貌。批量場景中，設備可聯動自動化上下料模塊，通過機械臂完成樣品傳送與分類，每小時檢測量達 80-120 個，無需人工干預。搭配環境控制艙時，能將溫度波動控制在 ±0.3℃，濕度波動 ±1%，保障光學晶體等敏感樣品的檢測穩定性。
軟件適配能力同樣突出，15 英寸高清觸控屏支持直接操作常用功能，界面含中文、英文等多語言選項。內置 30 + 行業模板，覆蓋半導體、汽車等領域，用戶可保存 100 + 自定義模板，重復檢測時直接調用?！皺z測向導" 模塊提供分步指引，如半導體金線檢測時，會提示固定、對焦、掃描等步驟及注意事項，降低操作失誤率。設備還支持遠程升級與故障診斷，進一步提升使用便利性。
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更新時間：2025-09-24
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