Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加

主動照明多焦面疊加是一種為了測量粗糙的表面形狀而開發的光學技術。這項技術基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領域的廣泛專業知識，專門設計用于補充低放大率下的測量

BACKGROUND

Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加原理

主動照明多焦面疊加技術利用了明場中存在景深的特點，

樣品只有在的特定 z 范圍中對焦。 景深會根據物鏡的數值孔徑或光源波長而變化。

Z 高度的值是根據圖像的高對比度（清晰度或微小細節）來計算的

從而得出正確的對焦位置。